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製品総合案内真空部品VGシエンタ >XYZマニピュレーター Miniaxシリーズ

manipulator    
miniax
 

Miniax XYZステージはシンプルな構造で低コスト型です。シングルベローズ方式で取り付け方向に制限はありません。 シンプルな構造にもかかわらず高精度かつ超高真空対応となっております。

miniax drw
miniax photo *ベローズ内径:φ35mm
*耐熱温度:200℃
*Zトラベル:50, 100mm
*X-Yトラベル:±12.5mm
*トラベリングフランジ:ICF70タップ穴
*ベースフランジ:ICF70又はICF152
 (ICF152にはICF34の予備ポートが4つ)
*手動のみ

回転導入器とサンプルホルダーを組み合わせることが可能です。
 
 
トップフランジ ベースフランジ Zトラベル X-Yトラベル A寸法 C寸法 型式
ICF70タップ ICF70 50mm ±12.5mm 160-210mm 250mm ZXYZ0570
ICF70タップ ICF70 100mm ±12.5mm 160-260mm 301mm ZXYZ1070
ICF70タップ ICF152 50mm ±12.5mm 160-210mm 250mm ZXYZ0515
ICF70タップ ICF152 100mm ±12.5mm 160-260mm 301mm ZXYZ1015
 

製品詳細はメーカーのホームページをご参照ください。

http://www.vacgen.com

black circle 製造元による理由により、本価格は予告なく変更する場合があります。