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製品総合案内真空装置設計・製作>高真空システム

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specer

 
  高真空下での各種評価装置、実験装置、成膜装置を製作いたします。  
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試料評価装置
vacuum sys fig1a vacuum sys fig1b
square black 特長
試料を低温から高温まで効率良く加熱冷却できます。(低温側:-200℃~常温 高温側:常温~200℃ )
加熱方式:ランプ加熱 冷却方式:クライオスタット
オプションでマス分析機能を追加できます。
 
 

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2重構造水冷チャンバー
vacuum sys fig2a vacuum sys fig2b
square black 特長
高度な加工・溶接技術を駆使し、チャンバー、蓋、ポートを全て2重構造にし、中を水が流れる事により冷却効果を高めています 。