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製品総合案内真空装置設計・製作>四重極質量分析計及び差動排気システム

 specer mass analysis  

specer

blue dot

 
差動排気付質量分析計(移動式)
 mass analysis fig1a  mass analysis fig1b  mass analysis fig1c  
square black 特長
あらゆる真空領域の中で簡単に、かつ迅速にガス分析が行なえるマスシステムです。
1.お手持ちの真空装置にワンタッチで接続可能
2.操作が簡単で分かり易い分析ソフト
3.プロセスガスに汚染されにくいので、長時間の安定使用が可能
4.ドライポンプ使用のため、接続真空装置への汚染がありません
 
  blue dot  
 
小型自動排気システム(移動式)
 mass analysis fig2
<基本仕様>  
・到達真空度 :2x10-7mbr(1.5x10-7Torr)
・排気速度 : 70L/S(N2)
・システム構成 :Turbo Pump+Diaphram Pump(Scroll Pump)
:Vacuum Controll
:High-Vacuum Gauge(Cold Cathode)
:Electric Valve(DN25)
・入力電源 :100V 10A
・停電時真空保持機能
・オイルフリーシステム
*圧空、水は不要です。