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製品総合案内真空装置設計・製作>イオン加速器

 specer XYbeam

specer

 
  半導体製造装置である『イオン注入装置』ならびに『高エネルギー加速器』
に関して蓄積された技術・ノウハウを基に、既存の装置を改造・アップグレード
することも可能です。
 
 

blue dot

 
 
X-Yビームスキャナー
XYbeam scanner 1 XYbeam scanner 2 写真左のビームラインは、京都大学殿に納入した高エネルギー加速器
のX-Yビームスキャナー部分です。
square black 特長
イオンガンから引き出されたイオンビームを試料に対して均一にスイープ
するため静電方式で行ないます。 このスイープはX軸、Y軸の周波数比を
ある一定の所にセットし、それらが同期しないように考慮されています。
 
  blue dot  
 
ファラデーカップ
 faraday cup  
square black 特長
引き出されたイオンビームの電流値をモニターし、形状がカップ状になっており、
サプレッサー電極が付いているので 電流値の補正が可能です。
 
  blue dot  
  <この他にも>
● マトリックス  ● X-Yビームスリット  ● 加速管  ● ビームレンズ  ● 各種イオン源
● 各種高圧電源  ● 絶縁ガス回収・充填システム  
以上に関連した部品及びシステムの設計・製作・改造作業をいたします。