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製品総合案内真空部品VGシエンタ >XYZマニピュレーター Transaxシリーズ

manipulator    
transax
 
Transaxシリーズはダブルベローズ方式のマニピュレーターで高い安定性と多様性が特長です。 サポートチューブにより、より安定したサンプル移動を可能にします。

transax drw1

transax photo *ベローズ内径:φ28mm
*Zトラベル:150, 300, 450mm
*X-Yトラベル:±6, ±12.5, ±25mm
*マイクロメーター:5μ
*トラベリングフランジ:ICF70
*ベースフランジ:ICF152
*手動またはモーター駆動

回転導入器とサンプルホルダーを組み合わせることが可能です。
 
 
製品構成は、Zモジュール部、XYモジュール部、回転導入器モジュールから成っております。
下記の例のように各部をご選定いただき、マニピュレーターを構成してください。
例:  Zモジュール部
MXZ1570

XYモジュール部
MT105A6S

回転導入部
MR1T
 
 
Zモジュール部
transax drw2
Zモジュール仕様
*精度   : 手動 10μm
モーター 5μm
*再現性:

手動 10μm
モーター 5μm

*ボア径:

φ28mm

*トラベリングフランジ:

ICF70

モーター駆動時の仕様はVGシエンタ社製
モーターコントローラを使用した場合の値です。

Z移動距離 型式
150mm MTX1570
300mm MTX3070
450mm MTX4570

別途モーターオプションが選択可能です。

 
 
X-Yモジュール部
X-Yモジュール仕様
*手動

精度 :
再現性:

5μm
5μm

*モーター

T105ステージ

T108ステージ

T208ステージ

精度:
再現性:
精度:
再現性:
精度:
再現性:

2.5μm
5μm
0.5μm
1μm
0.5μm
1μm
*ベースフランジ:ICF152

モーター駆動時の仕様はVGシエンタ社製モーターコントローラを使用した場合の値です。

品名 型式
X-Yモジュール ±6mm駆動 MT105A6S
X-Yモジュール ±12.5mm駆動 MT108A6S
X-Yモジュール ±25mm駆動 MT208A6S
X-Y駆動無用アダプター MT000A6S

X、Y軸には別途モーターオプションが選択可能です。
水平取り付け用サポートオプションも選択可能です。

 
 
回転導入部
*1軸及び2軸の回転導入器から選択
*XYZステージに組込んだ際の最短の長さ(L寸法)をご指定ください。

品名 型式
1軸型回転導入器 MR1T
2軸型回転導入器 MR2T

1軸、2軸共に別途モーターオプションが選択可能です。
中空型回転導入器オプションも選択可能です。

transax drw3
 

 サンプルホルダーはコチラをご参照ください。

製品詳細はメーカーのホームページをご参照ください。

http://www.vacgen.com

black circle 製造元による理由により、本価格は予告なく変更する場合があります。