GEN-TECH,INC.

  • Increase font size
  • Default font size
  • Decrease font size

vg banner 02

製品総合案内真空部品VACGEN >XYZマニピュレーター OMNIAXシリーズ

Zモジュール部
Zモジュール仕様
移動距離 型式
100mm MXZ100
200mm MXZ200
400mm MXZ400
600mm MXZ600
800mm MXZ800
1000mm MXZ1000
別途モータオプションが選択可能です。
X-Yモジュール部
X-Yモジュール仕様
*手動

精度 : 5µm
再現性: 5µm

*モーター

T105ステージ

T108ステージ

T208ステージ

精度: 2.5µm
再現性: 5µm
精度: 0.5µm

再現性: 1µm
精度: 0.5µm
再現性:1µm

*ベースフランジ:ICF152(タップ)、ICF203

モーター駆動時の仕様はVGシエンタ社製モーターコントローラを使用した場合の値です。

ベースフランジ 品名 型式
ICF152(タップ) X-Yモジュール ±12.5mm駆動 MT108B6S
X-Yモジュール ±25mm駆動 MT211B6S
X-Y駆動無用アダプター MT000B6S
ICF203 X-Yモジュール ±12.5mm駆動 MT108B8S
X-Yモジュール ±25mm駆動 MT211B8S
X-Y駆動無用アダプター MT000B8S

X、Y軸には別途モーターオプションが選択可能です。
水平取り付け用サポートオプションも選択可能です。

 

回転導入部
*1軸及び2軸の回転導入器から選択
*XYZステージに組込んだ際の最短の長さ(L寸法)を
ご指定ください。

品名 型式
1軸型回転導入器 MR1M
2軸型回転導入器 MR2M

1軸、2軸共に別途モーターオプションが選択可能です。
取付には別途ICF114-ICF70変換フランジが必要です。
中空型回転導入器オプションも選択可能です。

omniax drw3

 

サンプルホルダーはコチラをご参照ください。

製品詳細はメーカーのホームページをご参照ください。

http://www.vacgen.com

black circle 製造元による理由により、本価格は予告なく変更する場合があります。