GEN-TECH,INC.

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型式 100mm MXZ100 200mm MXZ200 400mm MXZ400 600mm MXZ600 800mm MXZ800 1000mm MXZ1000

別途モーターオプションが選択可能です。

   
X-Yモジュール部
X-Yモジュール仕様
*手動

精度 :
再現性:

5μm
5μm

*モーター

T105ステージ

T108ステージ

T208ステージ

精度:
再現性:
精度:
再現性:
精度:
再現性:

2.5μm
5μm
0.5μm
1μm
0.5μm
1μm
*ベースフランジ:ICF152(タップ)、ICF203

モーター駆動時の仕様はVGシエンタ社製モーターコントローラを使用した場合の値です。

ベースフランジ 品名 型式
ICF152(タップ) X-Yモジュール ±12.5mm駆動 MT108B6S
X-Yモジュール ±25mm駆動 MT211B6S
X-Y駆動無用アダプター MT000B6S
ICF203 X-Yモジュール ±12.5mm駆動 MT108B8S
X-Yモジュール ±25mm駆動 MT211B8S
X-Y駆動無用アダプター MT000B8S

X、Y軸には別途モーターオプションが選択可能です。
水平取り付け用サポートオプションも選択可能です。

   
回転導入部
*1軸及び2軸の回転導入器から選択
*XYZステージに組込んだ際の最短の長さ(L寸法)を
ご指定ください。

品名 型式
1軸型回転導入器 MR1M
2軸型回転導入器 MR2M

1軸、2軸共に別途モーターオプションが選択可能です。
取付には別途ICF114-ICF70変換フランジが必要です。
中空型回転導入器オプションも選択可能です。

omniax drw3
 

 サンプルホルダーはコチラをご参照ください。

製品詳細はメーカーのホームページをご参照ください。

http://www.vgscienta.com/productlist.aspx?MID=54

black circle 製造元による理由により、本価格は予告なく変更する場合があります。