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製品総合案内真空部品VGシエンタ >XYZマニピュレーター HPTシリーズ

manipulator    
HPT
 
HPT XYZステージはシングルベローズ方式で取り付け方向に制限はありません。モジュールシステムを採用していることで、多彩な構成を提供しています。 Zステージには板バネ式の引き上げ機構が備わっており、より安定したZ駆動を提供します。

HPT drw1

HPT photo *ベローズ内径:φ35mm又はφ44mm
*Zトラベル:50, 100, 150, 250mm
*X-Yトラベル:±12.5mm
*マイクロメーターは1μ、5μから選択可
*トラベリングフランジ:ICF70タップ穴
*ベースフランジ:ICF70又はICF152
 (ICF152にはICF34の予備ポートが4つ)
*チルト機構オプション
*手動またはモーター駆動

回転導入器とサンプルホルダーを組み合わせることが可能です。
 
 
製品構成は、Zモジュール部、XYモジュール部、回転導入器モジュールから成っております。
下記の例のように各部をご選定いただき、マニピュレーターを構成してください。マイクロメーターはX,Y各1個づつ計2個必要です。)
例:  Zモジュール部
MRXZ0570 

XYモジュール部/マイクロメーター
MRXXY12+MRXMIC01 x2個

回転導入部
MR1R
 
 
Zモジュール部
HPT drw2
Zモジュール仕様
*精度   : 手動 5μm
モーター 2.5μm
*再現性: 10μm

モーター駆動時の仕様はVGシエンタ社製モーターコントローラを使用した場合の値です。

ベースフランジ Z移動距離 ボア径 型式
ICF70 50mm

φ35mm

MRXZ0570
100mm MRXZ1070
150mm MRXZ1570
250mm MRXZ2570
ICF152(ICF34ポート 4個付き) 50mm MRXZ0515
100mm MRXZ1015
150mm MRXZ1515
250mm MRXZ2515
50mm

φ44mm

MWXZ0515
100mm MWXZ1015
150mm MWXZ1515
250mm MWXZ2515

別途モーターオプションが選択可能です。

 
 
X-Yモジュール部
X-Yモジュール仕様
*バレル型マイクロメーター 分解能:
再現性:
5μm
5μm
*高精度型マイクロメーター

分解能:
再現性:

1μm (バーニアスケール)
5μm
*モーター

分解能:
再現性:

2.5μm (バーニアスケール)
5μm
*チルトオプション 最大7度

モーター駆動時の仕様はVGシエンタ社製モーターコントローラを使用した場合の値です。

品名 型式
X-Yモジュール ±12.5mm駆動 MRXXY12
X-Y駆動無用アダプター MRXXY00
バレル型マイクロメーター
XY1個、計2個必要)
MRXMIC05
高精度型マイクロメーター
XY1個、計2個必要)
MRXMIC01
チルトアダプター MRXTAA

X、Y軸には別途モーターオプションが選択可能です。

 
 
回転導入部
*1軸及び2軸の回転導入器から選択
*ベアリングハウジング付き
*シャフトの長さは下記の範囲で決められます 
 (Zが伸びきった状態でのL寸法)

Z駆動 L 最少 L 最大
50mm 46mm 195mm
100mm 61mm 210mm
150mm 76mm 225mm
250mm 106mm 255mm
HPT drw3
品名 型式
1軸型回転導入器 MR1R
2軸型回転導入器 MR2R

1軸、2軸共に別途モーターオプションが選択可能です。
 

 サンプルホルダーはコチラをご参照ください。

製品詳細はメーカーのホームページをご参照ください。

http://www.vgscienta.com/productlist.aspx?IID=196

black circle 製造元による理由により、本価格は予告なく変更する場合があります。